| RTP 100 |  | Ön Taraf | 100 mmø | 1200 °C | 150 K/saniye | 1200 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak. 400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
| RTP 100 HV (Yüksek vakum) |  | Ön taraf | 100 mmø | 1200 °C | 150 K/saniye | 1200 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak. 400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
| RTP 150 |  | Ön taraf | 156 mm çap | 1000 °C | 75 K/saniye | 1000 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak. 400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
| RTP 150 HV (Yüksek vakum) |  | Ön taraf | 150 mm çap veya 156×156 solar wafer | 1000 °C | 75 K/saniye | 1000 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak. 400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
| VPO 1000-300 |  | Üst taraf | 300 mm | 1000 °C | 40 K/saniye | 1000 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak. 400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
