 |
Model
|
|
Yükleme Yeri
|
Yüzey Boyutu
|
Tmax °C
|
Isıtma hızı
|
Soğutma Hızı
|
| RTP 100 |
 |
Ön taraf |
100 mmø |
1200 °C |
150 K/saniye |
1200 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak.
400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
|
RTP 100 HV
(Yüksek vakum)
|
 |
Ön taraf
|
100 mmø |
1200 °C |
150 K/saniye |
1200 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak.
400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
RTP 150
|
 |
Ön taraf
|
156 mm çap |
1000 °C |
75 K/saniye |
1000 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak.
400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
|
RTP 150 HV
(Yüksek vakum)
|
 |
Ön taraf
|
150 mm çap veya 156×156 solar wafer |
1000 °C |
75 K/saniye |
1000 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak.
400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
VPO 1000-300
|
 |
Üst taraf
|
300 mm |
1000 °C |
40 K/saniye |
1000 °C’den 400 °C’ye 200 K/dak.
400 °C’den 100 °C’ye mak. 30 K/dak. |
